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電子級氨氣(水)回用系統
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半導體廢硫酸純化(去雙氧水)系統
專利設計之超重力離心機將H2O2予分解，製程中僅會產出氧氣，而非現有滲入鹽酸等藥劑機制產出劇毒且須再處理之氯氣。加上設計可耐高濃度硫酸之特殊材質膜組，將晶圓APM清洗製程所產出的碳氫化合物、有機物及重金屬進行過濾，將廢硫酸純化為工業級硫酸而不再是事業廢棄物。 設備特點: 1.不須填加藥劑，不產生其他廢棄物及對應之處理成本 2.設備模組化-in side設計 3.維護操作簡易，不須控制PH值 4.去除氧化金屬離子機置 設備介紹 (專利申請中)
半導體硫酸銨廢液減量結晶系統
系統特點: 1) 能耗低，結垢率低，操作簡單，運行穩定。 2) 成熟結晶技術，能確保結晶物粒徑0.5mm 以上。 3) 系統結構簡單，占地少，維修及操作容易。 4) 高效的除霧裝置和良好的設計保證出水水質持續優良。 設備介紹: 依16M3/d，25wt%硫銨溶液，採用MVR+OSLO濃縮結晶設備，可產出0.5mm以上結晶粒徑產品。經結晶後即不再是事業廢棄物而減少清運處理費， 且可供其他化工產業之原物料使用。
