半導體廢硫酸純化(去雙氧水)系統

專利設計之超重力離心機將H2O2予分解，製程中僅會產出氧氣，而非現有滲入鹽酸等藥劑機制產出劇毒且須再處理之氯氣。加上設計可耐高濃度硫酸之特殊材質膜組，將晶圓APM清洗製程所產出的碳氫化合物、有機物及重金屬進行過濾，將廢硫酸純化為工業級硫酸而不再是事業廢棄物。

設備特點:

1.不須填加藥劑，不產生其他廢棄物及對應之處理成本

2.設備模組化-in side設計

3.維護操作簡易，不須控制PH值

4.去除氧化金屬離子機置

設備介紹

(專利申請中)